دليل اختيار مضخة التفريغ ---
عند اختيار مضخة فراغ، عليك الانتباه إلى الأمور التالية:
1. يجب أن يفي ضغط العمل لمضخة التفريغ بالفراغ النهائي ومتطلبات ضغط العمل لمعدات التفريغ. على سبيل المثال: يتطلب الطلاء الفراغي درجة فراغ تبلغ 110-5 ملم زئبق، ويجب أن تكون درجة الفراغ لمضخة التفريغ المحددة 510-6 ملم زئبق على الأقل. عادةً ما يتم اختيار درجة الفراغ للمضخة لتكون أعلى بمقدار نصف إلى درجة واحدة من درجة الفراغ الخاصة بمعدات التفريغ.
2. حدد بشكل صحيح نقطة عمل مضخة التفريغ. يحتوي كل نوع من المضخات على نطاق ضغط تشغيل معين، مثل 10-3~10-7 مم زئبقي لمضخة الانتشار. ضمن نطاق الضغط الواسع هذا، تتغير سرعة ضخ المضخة مع الضغط، ويكون نطاق ضغط العمل المستقر 510-4 ~510-6mmHg. لذلك، يجب تحديد نقطة عمل المضخة ضمن هذا النطاق ولا يمكن السماح لها بالعمل تحت 10-8 مم زئبق لفترة طويلة. مثال آخر هو أن مضخة التسامي المصنوعة من التيتانيوم يمكن أن تعمل عند 10-2 مم زئبق، ولكن يجب أن يكون ضغط التشغيل أقل من 110-5 مم زئبق.
3. يجب أن تكون مضخة التفريغ قادرة على تفريغ كل الغاز المتولد أثناء عملية معدات التفريغ تحت ضغط العمل. 4. قم بدمج مضخة التفريغ بشكل صحيح. نظرًا لأن مضخات التفريغ تتمتع بقدرات ضخ انتقائية، ففي بعض الأحيان لا يمكن لنوع واحد من المضخات تلبية متطلبات الضخ، ويجب دمج عدة مضخات لتكمل بعضها البعض لتلبية متطلبات الضخ. على سبيل المثال، تتميز مضخة التسامي المصنوعة من التيتانيوم بسرعة ضخ عالية للهيدروجين ولكنها لا تستطيع ضخ الهيليوم، في حين أن مضخة الأيونات المتطايرة ثلاثية الأقطاب (أو مضخة الأيونات المتطايرة غير المتماثلة ذات الكاثود الثنائي) لها سرعة ضخ معينة للأرجون. مجتمعة، جهاز التفريغ سوف يحصل على درجة تفريغ أفضل. بالإضافة إلى ذلك، لا يمكن لبعض مضخات التفريغ أن تعمل تحت الضغط الجوي وتتطلب تفريغًا مسبقًا؛ بعض مضخات التفريغ لديها ضغوط مخرج أقل من الضغط الجوي وتتطلب مضخة دعم، لذلك يجب دمج المضخات.
5. متطلبات التلوث الزيتي في معدات التفريغ. إذا كانت المعدات تتطلب بشكل صارم خلوًا من الزيت، فيجب اختيار مضخات مختلفة خالية من الزيت، مثل: مضخات حلقة الماء، ومضخات امتصاص الغربال الجزيئي، ومضخات الأيونات المتطايرة، والمضخات المبردة، وما إلى ذلك. إذا لم تكن المتطلبات صارمة، فيمكنك اختيار لديك مضخة زيت وإضافة بعض إجراءات مكافحة التلوث النفطي، مثل إضافة المصائد الباردة، والحواجز، ومصائد الزيت، وما إلى ذلك، لتحقيق متطلبات الفراغ النظيف.
6. فهم تركيبة الغاز الذي يتم ضخه، وما إذا كان يحتوي على بخار قابل للتكثيف، وما إذا كان هناك غبار جسيمي، وما إذا كان مسببًا للتآكل، وما إلى ذلك. عند اختيار مضخة التفريغ، تحتاج إلى معرفة تركيبة الغاز واختيار المضخة المقابلة للغاز ليتم ضخها. إذا كان الغاز يحتوي على بخار وجزيئات وغازات قابلة للتآكل، فيجب عليك التفكير في تركيب معدات مساعدة، مثل المكثفات ومجمعات الغبار وما إلى ذلك، على خط أنابيب مدخل الهواء للمضخة.
7. ما هو تأثير بخار الزيت المنبعث من مضخة التفريغ على البيئة؟ إذا كانت البيئة لا تسمح بالتلوث، يمكنك اختيار مضخة تفريغ خالية من الزيت أو تفريغ بخار الزيت في الهواء الطلق.
8. هل للاهتزاز الناتج عن مضخة التفريغ أثناء التشغيل أي تأثير على العملية والبيئة؟ إذا كانت العملية لا تسمح بذلك، فيجب اختيار مضخة خالية من الاهتزاز أو اتخاذ تدابير مضادة للاهتزاز.
9. سعر وتكاليف تشغيل وصيانة مضخات التفريغ.